Что такое индикаторная лента плазмы?

Индикаторная лента плазмы представляет собой интеллектуальный детекторный материал, специально используемый для вакуумных систем и плазменных процессов. Он обеспечивает обратную связь в режиме реального времени по ключевым параметрам посредством особых физических и химических изменений. Он может интуитивно отображать состояния плазмы и микроутечки, невидимые человеческому глазу.

1. Меры предосторожности при использовании индикаторной ленты плазмы.

(1). Предварительная обработка поверхности

Перед оклейкой проверяемую поверхность необходимо очистить ацетоном или изопропиловым спиртом. После протирания дайте постоять 2 минуты, чтобы растворитель полностью испарился. Поверхностная энергия после обработки должна составлять ≥38 дин/см, что можно проверить с помощью дин-ручного теста. Не прикасайтесь пальцами к клейкой поверхности, чтобы избежать загрязнения маслом, которое может привести к снижению чувствительности.

(2). Операция вставки

После отделения индикаторной ленты от антистатической пленки медленно сверните ее вдоль одного конца и приложите равномерное давление 0,5–1 кг/см². Используйте силиконовый скребок, чтобы подтолкнуть край, чтобы удалить пузырьки. Допускаются небольшие пузырьки диаметром ≤1 мм. После наклеивания дайте постоять 5 минут, чтобы клеевой слой полностью выровнялся. Повторное отслаивание и склеивание строго запрещено. При каждой повторной наклейке клей уменьшается более чем на 50%.

2. Критерии разрушения индикаторной ленты плазмы

(1) Критерии физического отказа

Повреждение подложки: появляются видимые трещины (длиной > 2 мм) или расслоение, а подложка подвергается необратимому короблению (радиус изгиба > 15°).
Нарушение адгезии: остаточная площадь клеевой поверхности > 5 % (влияет на повторную адгезию), прочность на отслаивание падает до менее 30 % от первоначального значения (необходимо проверить с помощью тестера на растяжение).
Загрязнение и коррозия: к поверхности прилипают неудаляемые частицы загрязнений (размер частиц > 50 мкм и плотность > 3/см²), а подложка подвергается плазменной эрозии с образованием дыр (диаметром > 1 мм).

(2) Критерии химического разрушения

Аномальная реакция на изменение цвета: в стандартных условиях (например, аргоновая плазма мощностью 50 Вт) время изменения цвета превышает номинальное значение на ± 30%, а область изменения цвета демонстрирует неравномерную диффузию (разница в диаметре цветового пятна> 20%).
Разрушение покрытия: зона отслаивания чувствительного покрытия > 10 % (наблюдение под микроскопом), значение ΔE падает > 40 % после повторного использования (обнаружение спектрофотометром). Нарушение химической стабильности: охрупчивание подложки происходит после воздействия агрессивных газов (таких как Cl₂, F₂) и совокупного воздействия концентрации озона более 0,2 ppm в течение более 24 часов.

Индикаторную ленту плазмы необходимо заменить в следующих случаях:
На подложке образуются трещины или отслоения длиной более 2 мм; Остаточная площадь клеевой поверхности более 5% влияет на повторное наклеивание ленты; Время реакции на изменение цвета увеличивается более чем на 50% по сравнению с исходным значением; Суммарное время воздействия превышает указанный производителем срок службы.

3. Условия хранения индикаторной ленты плазмы.

(1) Экологические требования

Температура: 15-25 ℃ (колебание <±3 ℃/ч)
Светозащита: интенсивность УФ <10 мкВт/см².
Пыленепроницаемость: класс чистоты 1000 или ниже.

(2) Характеристики упаковки

Оригинальный запечатанный пакет из алюминиевой фольги (скорость проникновения водяного пара <0,1 г/м²/день)
Хранится на земле в антистатическом шкафу (поверхностное сопротивление 10³-10⁶Ом)